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首台套商品化落地!300nm分辨率+50ns响应!ImageTR系列热反射显微成像测温系统打破国外垄断,筑牢半导体热检测供应链
半导体制程迈入几十纳米量级,GaN HEMT等器件单指栅长缩至0.25μm,脉冲偏置下1μs内温度骤升超100℃,传统热检测技术深陷“空间分辨率不足、时间响应滞后、低辐射率样品适配差”的困境—金属覆盖层、半导体晶圆等低辐射率样品,更导致红外测温易受环境干扰、精度下滑。针对半导体行业的这一核心痛点,雅世恒源联合业内应用专家团队精心研制ImageTR系列热反射显微成像测温系统,作为国内首台套国产化商品化设备,以创新光反射技术破解传统检测难题,打破国外品牌垄断,为构建自主可控的半导体热检测技术提供可靠支撑。
넶51 2025-12-30
