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TMIR显微成像测温系统
T雅世恒源TMIR系列是基于显微红外热成像技术为半导体器件微区高精度测温而自主研发的国产化红外显微成像测温系统,采用非接触无损测量模式,不干扰器件工作,可真实还原器件实际工况下温度特性,微米级空间解析度,可精准捕捉全域温度场分布及多维度温度数据。应用场景涵盖半导体的研发、品控、失效分析及科研领域,可用于各类器件热特性测试、量产测温、失效定位,为半导体行业提供可靠、高效的微区测温解决方案。 -
lmagelR显微红外成像测温系统
ImageIR红外显微成像测温系统是基于显微红外热成像与非接触式红外测温技术,以制冷型红外热像仪、电动台架及专业软件为核心的半导体器件测温设备。可实现微米级高精度测温,非接触式测量方式可还原器件真实温度特性,覆盖稳态/瞬态工况,,为半导体器件性能评估、可靠性分析及失效机理研究提供支撑。
